Технологические возможности и услуги

Предприятие ОАО "ЦНИИ "Электрон" имеет 50-летний опыт в области разработки и производства электровакуумных и твердотельных фоточувствительных приборов и модулей на их основе.
ОАО "ЦНИИ "Электрон" также оказывает следующие услуги:

• Изготовление растров и мелкоструктурных металлических сеток методом гальванической пластики и фотолитографии c шагом от 10 до 3 мкм толщиной от 3 мкм и более, используемых в качестве выравнивающих электродов, системы фильтров и координатных сеток;
• Изготовление плоских и плосковогнутых дисков и пластин из стекла любых марок с плоскостностью не хуже 3 - 5 колец (для входных окон вакуумных и твердотельных приборов);
• Изготовление деталей стеклянных оболочек вакуумных приборов (цилиндры, ножки, колбы);
• Изготовление фильтров для различных областей спектра, пропускающих или отражающих заданную область светового потока от 250 нм УФ до 8 мкм ИК;
• Проектирование и изготовление спецоснастки, калибров, штампов и прессформ с использованием металлообрабатывающего оборудования;
• Разработка управляющей информации для изготовления фотошаблонов по техническим требованиям заказчика.

Для разработки и изготовления современных фоточувствительных приборов предприятие располагает следующими передовыми технологиями:

• Базовая биполярная планарная технология изготовления фоточувствительных структур на основе монокристаллического кремния: (проекционная фотолитография, плазменное травление слоев, ионное легирование примесей, газофазные процессы);
• Базовая технология изготовления фоточувствительных структур методом послойного осаждения материалов в вакууме;
• Технология изготовления приборов в автоматических установках манипуляторного типа, позволяющие выполнять последовательность технологических операций в вакууме 10-10 мм.рт.ст. без выноса изделий из рабочего объема установки(технология переноса в вакууме;
• Технология газовой эпитаксии с использованием металлоорганических соединений (МОС-гидридная газовая эпитаксия) для создания структур группы А3 В5;
• Технология магнетронного и электроннолучевого плазменного напыления тонких слоев металлов, полупроводников или диэлектриков широкого диапазона материалов на разнообразные подложки;
• Технология соединения различных материалов методом сварки (лазерной, микроплазменной, высокочастотной, электроконтактной) для изготовления узлов и сборок приборов;
• Технология огневой, высокочастотной и лазерной заварки стеклянных узлов, используемая для изготовления оболочек вакуумных приборов;
• Технология электроэрозионной обработки деталей и узлов, используемая для формирования геометрии электродов на стеклянных оболочках вакуумных приборов.

ОАО "ЦНИИ "Электрон" приглашает Ваше предприятие к взаимовыгодному сотрудничеству.